Ноябрь 13th, 2021 
alex ___Здравствуйте уважаемые читатели моего информационного портала «Продавать-Много.РФ».
___Современное автоматизированное оборудование высоких вакуумных технологий требует особого подхода к созданию функциональных устройств различного назначения, размещенных в объеме высоковакуумных камер.
___Несмотря на общность задач, связанных с автоматизацией производственных процессов, и на фундаментальность теории автоматизации, в различных отраслях промышленности возникают технические трудности при решении проблем создания специального автоматизированного вакуумного оборудования, например, для процессов термического и магнетронного осаждения пленок, ионной имплантации, молекулярно-лучевой эпитаксии, электронно-лучевой, синхротронной литографии и др.
___Очевидно, что дальнейшее развитие технологий производства изделий микро и наноэлектроники потребует в числе прочих задач еще более высокой чистоты технологических вакуумных сред с исключением, в том числе наиболее опасного вида загрязнения — микрочастицами износа, распространяющимися из пар трения функциональных механизмов.
___Современное автоматизированное оборудование высоких вакуумных технологий позволяет качественно сделать узи брюшной полости и почек быстро, безболезненно и недорого. Одним из методов создания функциональных механизмов, предназначенных для работы в вакууме и воспринимающих его дестабилизирующее влияние без снижения надежности, является использование для формирования усилий и перемещений приводов управляемой упругой деформации, особенно — гарантирующих высокую точность позиционирования
___Появление нового класса механизмов обусловлено необходимостью не только снижения, но и полного исключения продуктов износа элементов механизмов. Известно, что в прецизионной технологии микроэлектроники считаются критическими размеры микрочастиц, составляющие 0,1 от минимального размера топологического элемента микросхемы, что составляет 0,0025…0,0100 мкм.
___Далее приведены данные по минимальным размерам топологии микросхем и соответствующим критическим размерам микрочастиц загрязнений, достигнутых рядом ведущих мировых фирм в 2000 и 2005 гг. На 2013 год Samsung производит микросхему оперативной памяти DDR3 с топологическим размером элемента 0,027 мкм., a Panasonic и Inte активно выпускают микросхемы по технологии 0,016 мкм.
___Известно, что при наличии в составе функциональных механизмов пар трения образовавшиеся микрочастицы в большинстве случаев приобретают электрический заряд, благодаря которому могут мигрировать в вакуумных объемах и осаждаться на обрабатываемых п/п пластинах, снижая коэффициент выхода годных микросхем, который по параметру и «привносимой дефектности» выражается следующей зависимостью:
___Наибольший эффект повышения надежности вакуумного оборудования может быть достигнут в случае полного исключения привносимой дефектности со стороны действующих функциональных механизмов, устройств и систем. Так общую идеологию разработки и создания вакуумных устройств и систем можно кратко представить в форме четырёх основных направлений, предложенных Александровой А.Т. ещё в послевоенное время:
—1.) Всевозможное упрощение структуры и оптимизация геометрии вакуумных систем;
—2.) Максимальный вынос оборудования из технологической вакуумной среды и его экранирование, в том числе сильфонами и гибкими оболочками;
—3.) Применение форвакуумных и высоковакуумных насосов без узлов трения движения и сильных магнитных полей (криогенные и модернизированные турбомолекулярные), замена трехступенчатой системы откачки на двухступенчатую или одноступенчатую, по возможности на данном развитии уровня техники;
—4.) Устранение на всех исполнительных и коммутационных устройствах узлов трения движения и замена их приводами управляемой упругой деформации.
___С ростом требований к чистоте технологической среды и значительно возросшей возможностью математического моделирования, связанной с лавинообразным ростом мощности вычислительных средств, первые три пункта данной идеологии, по факту, применяются ведущими зарубежными и отечественными производителями вакуумной техники. Наиболее популярна сейчас концепция «сухого» вакуума.
___Так был предложен Александровой А.Т. принцип конструирования механизмов вакуумного оборудования на основе приводов управляемой упругой деформации. Из них хорошо зарекомендовали себя упругодеформируемые пневмоприводы, механические упругодеформируемые приводы не показали своей эффективности. Активное развитие и применение направление получило только последние 20…30 лет, в связи с необходимым для её применения развитием промышленности.
___Несмотря на общность задач, связанных с автоматизацией производственных процессов, и на фундаментальность теории автоматизации, в различных отраслях промышленности возникают технические трудности при решении проблем создания специального автоматизированного вакуумного оборудования, например, для процессов термического и магнетронного осаждения пленок, ионной имплантации, молекулярно-лучевой эпитаксии, электронно-лучевой, синхротронной литографии и др.
___Очевидно, что дальнейшее развитие технологий производства изделий микро и наноэлектроники потребует в числе прочих задач еще более высокой чистоты технологических вакуумных сред с исключением, в том числе наиболее опасного вида загрязнения — микрочастицами износа, распространяющимися из пар трения функциональных механизмов.
___Современное автоматизированное оборудование высоких вакуумных технологий позволяет качественно сделать узи брюшной полости и почек быстро, безболезненно и недорого. Одним из методов создания функциональных механизмов, предназначенных для работы в вакууме и воспринимающих его дестабилизирующее влияние без снижения надежности, является использование для формирования усилий и перемещений приводов управляемой упругой деформации, особенно — гарантирующих высокую точность позиционирования
___Появление нового класса механизмов обусловлено необходимостью не только снижения, но и полного исключения продуктов износа элементов механизмов. Известно, что в прецизионной технологии микроэлектроники считаются критическими размеры микрочастиц, составляющие 0,1 от минимального размера топологического элемента микросхемы, что составляет 0,0025…0,0100 мкм.
___Далее приведены данные по минимальным размерам топологии микросхем и соответствующим критическим размерам микрочастиц загрязнений, достигнутых рядом ведущих мировых фирм в 2000 и 2005 гг. На 2013 год Samsung производит микросхему оперативной памяти DDR3 с топологическим размером элемента 0,027 мкм., a Panasonic и Inte активно выпускают микросхемы по технологии 0,016 мкм.
___Известно, что при наличии в составе функциональных механизмов пар трения образовавшиеся микрочастицы в большинстве случаев приобретают электрический заряд, благодаря которому могут мигрировать в вакуумных объемах и осаждаться на обрабатываемых п/п пластинах, снижая коэффициент выхода годных микросхем, который по параметру и «привносимой дефектности» выражается следующей зависимостью:
___Наибольший эффект повышения надежности вакуумного оборудования может быть достигнут в случае полного исключения привносимой дефектности со стороны действующих функциональных механизмов, устройств и систем. Так общую идеологию разработки и создания вакуумных устройств и систем можно кратко представить в форме четырёх основных направлений, предложенных Александровой А.Т. ещё в послевоенное время:
—1.) Всевозможное упрощение структуры и оптимизация геометрии вакуумных систем;
—2.) Максимальный вынос оборудования из технологической вакуумной среды и его экранирование, в том числе сильфонами и гибкими оболочками;
—3.) Применение форвакуумных и высоковакуумных насосов без узлов трения движения и сильных магнитных полей (криогенные и модернизированные турбомолекулярные), замена трехступенчатой системы откачки на двухступенчатую или одноступенчатую, по возможности на данном развитии уровня техники;
—4.) Устранение на всех исполнительных и коммутационных устройствах узлов трения движения и замена их приводами управляемой упругой деформации.
___С ростом требований к чистоте технологической среды и значительно возросшей возможностью математического моделирования, связанной с лавинообразным ростом мощности вычислительных средств, первые три пункта данной идеологии, по факту, применяются ведущими зарубежными и отечественными производителями вакуумной техники. Наиболее популярна сейчас концепция «сухого» вакуума.
___Так был предложен Александровой А.Т. принцип конструирования механизмов вакуумного оборудования на основе приводов управляемой упругой деформации. Из них хорошо зарекомендовали себя упругодеформируемые пневмоприводы, механические упругодеформируемые приводы не показали своей эффективности. Активное развитие и применение направление получило только последние 20…30 лет, в связи с необходимым для её применения развитием промышленности.
___
___
___________________________________________
P.S.
___Уважаемый читатель!!! Уверен, что эта интересная информация будет очень полезна для Вас, избавив от множества проблем в повседневной жизни. В знак благодарности, прошу Вас поощрить скромного автора незначительной суммой денег.
___Конечно, Вы можете этого и не делать. В то же время подмечено, что в жизни есть баланс. Если сделать кому-то добро, то оно вернётся к Вам через определённое время в несколько большем количестве. А если сделать человеку зло, то оно возвращается в очень скором времени и значительно большим.
___Предлагаю сделать свой посильный вклад (сумму можно менять):
___
____________________________________________
:::
Posted in 
Tags: 
